- Title:
Aufbringen von photostrukturierbaren Silikonschichten zum Dichten eines Mikroventils
- Document type:
- Report / Forschungsbericht
- Author(s):
- Keddis, S.
- Contracting organization:
- Fachgebiet Mikrostrukturierte Mechatronische Systeme
- Year:
- 2013
- Format:
- Text
- BibTeX