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Document type:
Report / Forschungsbericht 
Author(s):
Keddis, S. 
Title:
Aufbringen von photostrukturierbaren Silikonschichten zum Dichten eines Mikroventils 
Contracting organization:
Fachgebiet Mikrostrukturierte Mechatronische Systeme 
Year:
2013 
Format:
Text