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Dokumenttyp:
Report / Forschungsbericht 
Autor(en):
Keddis, S. 
Titel:
Aufbringen von photostrukturierbaren Silikonschichten zum Dichten eines Mikroventils 
Beauftragende Einrichtung:
Fachgebiet Mikrostrukturierte Mechatronische Systeme 
Jahr:
2013 
Format:
Text