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- Autor(en):
- VEPREK, S; WEIDMANN, J; GLATZ, F
- Titel:
- PLASMA CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION AND PROPERTIES OF HARD C3N4 THIN-FILMS
- Zeitschriftentitel:
- JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS
- Jahr:
- 1995
- Band / Volume:
- 13
- Heft / Issue:
- 6
- Seitenangaben Beitrag:
- 2914-2919
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