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- Autor(en):
- VEPREK, S; SCHOPPER, K; AMBACHER, O; al., et
- Titel:
- MECHANISM OF CLUSTER FORMATION IN A CLEAN SILANE DISCHARGE
- Zeitschriftentitel:
- JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY
- Jahr:
- 1993
- Band / Volume:
- 140
- Heft / Issue:
- 7
- Seitenangaben Beitrag:
- 1935-1942
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