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Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag 
Art des Konferenzbeitrags:
Vortrag / Präsentation 
Autor(en):
Scarpa, G., et al. 
Titel:
Pattern generation by using mutlistep room-temperature nanoimprint lithographie 
Kongress- / Buchtitel:
IEEE Nano 2009, Session WE2_3: Terascale Nanoelectronics 
Kongress / Zusatzinformationen:
Genoa, Italy, July 26-3, 2009 
Jahr:
2009 
Quartal:
3. Quartal 
Jahr / Monat:
2009-07 
Monat:
Jul 
Sprache:
en 
Format:
Text