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Original title:
Optimierung der elektrischen Eigenschaften von lateralen Superjunction-Bauelementen 
Translated title:
Optimization of Electrical Properties of Lateral Superjunction Devices 
Year:
2008 
Document type:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik 
Advisor:
Wachutka, Gerhard (Prof. Dr.) 
Referee:
Wachutka, Gerhard (Prof. Dr.); Hansch, Walter (Prof. Dr.) 
Language:
de 
Subject group:
ELT Elektrotechnik 
Abstract:
Diese Dissertation befasst sich mit dem Design, der Modellierung, der Simulation und der Charakterisierung neuartiger lateraler Hochvolt-Superjunction-Bauelemente mit Anwendungen in Smart-Power-ICs. Zum Zweck eines optimalen Designs, insbesondere zur Vermeidung des parasitären Effektes der Substratverarmung, wie er in lateralen Superjunction-Bauelementen auf Basis der Siliziumtechnologie auftritt, werden zwei unterschiedliche Superjunction-Strukturen mit jeweils optimaler Geometrie und optimalem...    »
 
Translated abstract:
This dissertation deals with the design, modelling, simulation and characterization of novel high voltage lateral superjunction power MOSFETs intended for applications in smart power integrated circuits. With a view to an optimized design, in particular to avoiding the parasitic effect of “substrate depletion” inherent in the implementation of the lateral superjunction MOSFETs in bulk silicon technology, two different structural designs with optimum device geometry and doping profile are propose...    »
 
Oral examination:
28.02.2008 
Pages:
197 
Last change:
22.04.2008