Bimorph-Piezoaktoren eignen sich als Antriebe für Mikropumpen, Mikroventile und Einzeltropfenerzeuger. Durch strukturierte Elektroden auf der Piezokeramik kann die Fertigung gegenüber dem Stand der Technik vereinfacht werden. Wesentlich ist ein Wegfall der Bearbeitung der Keramik und die vereinfachte elektrische Kontaktierung. Auf Grund der strukturierten Elektroden wird eine erhöhte Membransteifigkeit und eine reduzierte Lagerreaktion erzielt. Die Leistungsdichte eines Mikrosystems mit Piezoaktroen kann daher erhöht werden.     «

Bimorph-Piezoaktoren eignen sich als Antriebe für Mikropumpen, Mikroventile und Einzeltropfenerzeuger. Durch strukturierte Elektroden auf der Piezokeramik kann die Fertigung gegenüber dem Stand der Technik vereinfacht werden. Wesentlich ist ein Wegfall der Bearbeitung der Keramik und die vereinfachte elektrische Kontaktierung. Auf Grund der strukturierten Elektroden wird eine erhöhte Membransteifigkeit und eine reduzierte Lagerreaktion erzielt. Die Leistungsdichte eines Mikrosystems mit Piezoakt...     »