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- Original title:
- Optomechanics with high-stress silicon nitride resonators
- Translated title:
- Optomechanik mit stark verspannten Siliziumnitridresonatoren
- Author:
- Hoch, David Christopher Julian
- Year:
- 2023
- Document type:
- Dissertation
- Faculty/School:
- TUM School of Natural Sciences
- Advisor:
- Poot, Menno (Prof. Dr.)
- Referee:
- Poot, Menno (Prof. Dr.); Holleitner, Alexander (Prof. Dr.)
- Language:
- en
- Subject group:
- PHY Physik
- TUM classification:
- TEC 030; PHY 370
- Abstract:
- In this work optomechanical experiments on high-stress silicon nitride resonators are presented. These resonators are realized in a photonic integrated circuit platform. The work includes the nanofabrication of the micro-chips and the building and characterization of the measurement setups. In particular, the experiments include two-dimensional mode-shape mapping on membranes and the stress-tuning on predisplaced micro-beams.
- Translated abstract:
- In dieser Arbeit werden optomechanische Experimente an stark verspannten Siliziumnitridresonatoren vorgestellt. Diese Resonatoren sind in integrierten photonischen Schaltkreisen verwirklicht. Die Arbeit beinhaltet die Nanofabrikation der Mikrochips und den Aufbau und die Charakterisierung der Messaufbauten. Insbesondere beinhalten die Experimente das Abbilden der zweidimensionalen Modenformen von Membranen und das Abstimmen der Verspannung von vorversetzten Mikrobalken.
- WWW:
- https://mediatum.ub.tum.de/?id=1712245
- Date of submission:
- 16.06.2023
- Oral examination:
- 22.12.2023
- File size:
- 111364597 bytes
- Pages:
- 171
- Urn (citeable URL):
- https://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn:nbn:de:bvb:91-diss-20231222-1712245-1-4
- Last change:
- 19.02.2024
BibTeX