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Originaltitel:
Simulationsgestützte Oberflächendiagnostik mittels Speckle-Interferometrie
Übersetzter Titel:
Simulation Aided Surface Measurement Techniques by means of Speckle Interferometry
Autor:
Evanschitzky, Peter
Jahr:
2002
Dokumenttyp:
Dissertation
Fakultät/School:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Betreuer:
Koch, Alexander W. (Prof. Dr. habil.)
Gutachter:
Koch, Alexander W. (Prof. Dr. habil.); Biebl, Erwin (Prof. Dr. Dr. habil.)
Format:
Text
Sprache:
de
Fachgebiet:
FEI Feinwerktechnik, Medizintechnik, Technische Optik, Reprographietechnik; MSR Meßtechnik, Steuerungs- und Regelungstechnik, Automation
Stichworte:
Oberflächendiagnostik; Speckle; Interferometrie; Interferometer; Simulation; simulationsgestützt; Formvermessung; räumliches Phasenschieben
Übersetzte Stichworte:
surface measurement techniques; speckle; interferometry; interferometer; simulation; simulation aided; shape measurement; spatial phase-shifting
Schlagworte (SWD):
Oberflächenmessung; Simulation; Speckle-Interferometrie
TU-Systematik:
FEI 462d; MSR 970d
Kurzfassung:
In dieser Arbeit wird ein Modell vorgestellt, welches für die Simulation speckle-interferometrischer Messaufbauten konzipiert und optimiert ist. Durch eine besondere Kombination von geometrischer Optik und Wellenoptik bietet es kurze Simulationszeiten, hohe Flexibilität durch eine Vielzahl einstellbarer Parameter für unterschiedlichste Untersuchungen und gute Übereinstimmung zwischen Simulationsergebnissen, Theorie und Praxis. Weiterhin wird ein Speckle-Interferometer zur Formvermessung technisc...     »
Übersetzte Kurzfassung:
In this thesis, a model is presented which is designed and optimized for the simulation of speckle-interferometrical measurement systems. Through a special combination of geometrical optics and physical optics, it offers short simulation times, high flexibility through a great number of variable parameters for most different studies and good agreement between simulation results, theory and practice. Furthermore a speckle interferometer for the shape measurement of technical surfaces is presented...     »
Veröffentlichung:
Universitätsbibliothek der TU München
WWW:
https://mediatum.ub.tum.de/?id=601526
Eingereicht am:
11.06.2002
Mündliche Prüfung:
26.08.2002
Dateigröße:
12203572 bytes
Seiten:
186
Urn (Zitierfähige URL):
https://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn:nbn:de:bvb:91-diss2002082615537
Letzte Änderung:
19.06.2007
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