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Original title:
Simulationsgestützte Oberflächendiagnostik mittels Speckle-Interferometrie 
Translated title:
Simulation Aided Surface Measurement Techniques by means of Speckle Interferometry 
Year:
2002 
Document type:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik 
Advisor:
Koch, Alexander W. (Prof. Dr. habil.) 
Referee:
Koch, Alexander W. (Prof. Dr. habil.); Biebl, Erwin (Prof. Dr. Dr. habil.) 
Format:
Text 
Language:
de 
Subject group:
FEI Feinwerktechnik, Medizintechnik, Technische Optik, Reprographietechnik; MSR Meßtechnik, Steuerungs- und Regelungstechnik, Automation 
Keywords:
Oberflächendiagnostik; Speckle; Interferometrie; Interferometer; Simulation; simulationsgestützt; Formvermessung; räumliches Phasenschieben 
Translated keywords:
surface measurement techniques; speckle; interferometry; interferometer; simulation; simulation aided; shape measurement; spatial phase-shifting 
Controlled terms:
Oberflächenmessung; Simulation; Speckle-Interferometrie 
TUM classification:
FEI 462d; MSR 970d 
Abstract:
In dieser Arbeit wird ein Modell vorgestellt, welches für die Simulation speckle-interferometrischer Messaufbauten konzipiert und optimiert ist. Durch eine besondere Kombination von geometrischer Optik und Wellenoptik bietet es kurze Simulationszeiten, hohe Flexibilität durch eine Vielzahl einstellbarer Parameter für unterschiedlichste Untersuchungen und gute Übereinstimmung zwischen Simulationsergebnissen, Theorie und Praxis. Weiterhin wird ein Speckle-Interferometer zur Formvermessung technisc...    »
 
Translated abstract:
In this thesis, a model is presented which is designed and optimized for the simulation of speckle-interferometrical measurement systems. Through a special combination of geometrical optics and physical optics, it offers short simulation times, high flexibility through a great number of variable parameters for most different studies and good agreement between simulation results, theory and practice. Furthermore a speckle interferometer for the shape measurement of technical surfaces is presented...    »
 
Publication :
Universitätsbibliothek der TU München 
Oral examination:
26.08.2002 
File size:
12203572 bytes 
Pages:
186 
Last change:
19.06.2007