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Originaltitel:
Reichweite- und Mischverteilungen niederenergetischer Kohlenstoffionen in tetraedrisch gebundenen, amorphen Kohlenstoffschichten (ta-C) 
Übersetzter Titel:
Range and mixing distributions of low-energy carbon ions in tetrahedral amorphous carbon films (ta-C) 
Jahr:
2004 
Dokumenttyp:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Physik 
Betreuer:
Dollinger, Gerhard (Priv.-Doz. Dr.) 
Gutachter:
Dollinger, Gerhard (Priv.-Doz. Dr.); Koch, Frederick (Prof., Ph.D.) 
Format:
Text 
Sprache:
de 
Fachgebiet:
ELT Elektrotechnik; PHY Physik 
Stichworte:
ta-C; Wachstumsmodelle; niederenergetische Ionen; Reichweiteverteilungen; Mischverteilungen; ERD; Tiefenprofile 
Übersetzte Stichworte:
ta-C; growth modeling; low-energy ions; range distributions; mixing distributions; ERD; depth profiling 
Schlagworte (SWD):
Kohlenstoff; Amorpher Zustand; Dünne Schicht; Kohlenstoffion; Ionenbestrahlung; Reichweite 
TU-Systematik:
ELT 279d; PHY 649d 
Kurzfassung:
Reichweite- und Mischverteilungen niederenergetischer Kohlenstoffionen in tetraedrisch gebundenen, amorphen Kohlenstoffschichten (ta-C) wurden mittels hochauflösender Elastic Recoil Detection (ERD) erstmalig gemessen. Die experimentellen Reichweiteprofile sind stark asymmetrisch und signifikant breiter als die Ergebnisse aus entsprechenden TRIM.SP- bzw. klassischen molekulardynamischen Berechnungen. Die gemessenen Mischverteilungen bestätigen die gemessenen Reichweiteverteilungen. Die Ergebnisse...    »
 
Übersetzte Kurzfassung:
Range and mixing distributions of low-energy carbon ions in tetrahedral amorphous carbon films (ta-C) are measured utilizing high-resolution elastic recoil detection (ERD). The experimental range profiles are asymmetric and significantly broader compared to respective results from TRIM.SP calculations as well as from classical molecular dynamics simulations. The measured mixing profiles approve the measured range profiles. The results from this work allow for a crucial test and further advanceme...    »
 
Veröffentlichung:
Universitätsbibliothek der TU München 
Mündliche Prüfung:
06.08.2004 
Dateigröße:
4265536 bytes 
Seiten:
126 
Letzte Änderung:
19.12.2007