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Original title:
Optimierungsmodelle in der Halbleiterproduktionstechnik 
Translated title:
Optimization Models in Semiconductor Manufacturing Technology 
Year:
2005 
Document type:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik 
Advisor:
Hansch, Walter (Prof. Dr.) 
Referee:
Hansch, Walter (Prof. Dr.); Eisele, Ignaz (Prof. Dr.) 
Format:
Text 
Language:
de 
Subject group:
ELT Elektrotechnik 
Keywords:
Halbleiterproduktionstechnik; Liefertreue in mehrstufigen Produktionen; Stepper-Dispatcher; Produktivitätsoptimierung in der Herstellung 
Translated keywords:
semiconductor manufacturing technology; delivery reliability within the inner supply chain; stepper-dispatcher; optimising productivity in manufacturing 
Abstract:
Der Fortschritt in der Halbleiterindustrie basiert u.a. auf einer Kostenreduktion pro Bauteil von 35% pro Jahr. Die Hälfte davon wird durch Shrinking, Wafervergrößerung und Ausbeuteverbesserung erreicht. Da die Technologie schon sehr weit fortgeschritten ist, müssen zukünftig 50% der Kostenreduktion durch Produktivitäts-Optimierung der Herstellung erzielt werden. Das Fachgebiet der Halbleiterproduktionstechnik beschäftigt sich mit den entsprechenden Methoden zur Beschreibung, Bewertung und Verbe...    »
 
Translated abstract:
The progress in semiconductor industry is based on a reduction of cost per function by 35% a year. Half of this reduction is reached by shrinking, enlarging wafer size and yield enhancement. Because of the advanced technology stage, it is necessary that in future 50% of cost reduction will be obtained by optimising productivity in manufacturing. The field of semiconductor manufacturing technology (product engineering) deals with methods of describing, valuating and optimising the productivity of...    »
 
Publication :
Universitätsbibliothek der Technischen Universität München 
Oral examination:
10.02.2005 
File size:
2577561 bytes 
Pages:
168 
Last change:
25.06.2007