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Original title:
Entwicklung und Charakterisierung mikrostrukturierter thermoelektrischer Generatoren in Silizium-Halbleitertechnologie 
Translated title:
Development and Characterization of Micro-Structured Thermoelectric Generators in Silicon Semiconductor Technology 
Year:
2004 
Document type:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik 
Advisor:
Wachutka, Gerhard (Prof. Dr.) 
Referee:
Wachutka, Gerhard (Prof. Dr.); Eisele, Ignaz (Prof. Dr.) 
Format:
Text 
Language:
de 
Subject group:
ELT Elektrotechnik 
Keywords:
Thermolektrischer Generator; Mikromechanik; Thermoelektrik; Siliziumhalbleitertechnologie 
Translated keywords:
thermolectric generator; micromechanics; thermoelectrics; silicon semiconductor technology 
Abstract:
In dieser Arbeit werden mikrostrukturierte thermoelektrische Generatoren (Mikrothermogeneratoren) beschrieben, welche von außen zugeführte Wärme in einige Mikrowatt elektrischer Leistung umwandeln. Das den Wirkungsgrad bestimmende thermoelektrische Gleichungssystem wird gelöst und diskutiert. Mit speziellen Mikrostrukturen werden unter anderem der spezifische elektrische Widerstand, der Seebeck-Koeffizient und die Wärmeleitfähigkeit von Polysilizium und Poly-Silizium-Germanium bestimmt. Der Entw...    »
 
Translated abstract:
This work describes micro-structured thermoelectric generators which convert heat into electric power. The thermoelectric network which determines the conversion efficiency is solved and discussed. Using specially-designed microstructures the electrical resistivity, the Seebeck-coefficient, and the thermal conductivity of poly-silicon and poly-silicon-germanium are measured. The design of the thermoelectric generators is based on optimizations by means of coupled thermoelectric simulations. The...    »
 
Publication :
Universitätsbibliothek der TU München 
Oral examination:
17.09.2004 
File size:
10323780 bytes 
Pages:
142 
Last change:
25.06.2007