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Originaltitel:
Dynamische Regelung mikroelektromechanischer Systeme (MEMS) mit Hilfe kapazitiver Signalwandlung und Kraftrückkoppelung 
Übersetzter Titel:
Dynamic Control of Microelectromechanical Systems (MEMS) using Capacitive Transduction and Force Feedback 
Jahr:
2004 
Dokumenttyp:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik 
Betreuer:
Wachutka, Gerhard (Prof. Dr.) 
Gutachter:
Wachutka, Gerhard (Prof. Dr.); Hierold, Christopher (Prof. Dr.) 
Format:
Text 
Sprache:
de 
Fachgebiet:
ELT Elektrotechnik 
Stichworte:
MEMS; Mikromechanik; Delta/Sigma-Modulation; Positionsregelung; Makromodell; elektrostatische Aufhängung; Auflösungsverbesserung; Inertialsensor; Drehratensensor; Beschleunigungssensor 
Übersetzte Stichworte:
MEMS; micromechanics; delta/sigma-modulation; position control; macro model; electrostatic suspension; resolution enhancement; inertial sensor; gyroscope; acceleration sensor 
Kurzfassung:
Eine bekannte Architektur zur A/D-Wandlung ist die Delta/Sigma-Modulation. Angewandt auf mikroelektromechanische Systeme (MEMS) zeichnet sie sich durch perfekte Kompatibilität zu Systemen mit kapazitiver Signalwandlung, elektrostatischer Kraftrückkoppelung und integrierter „Switched Capacitor“-Schaltungstechnik aus. In dieser Arbeit wird eine Auflösungsverbesserung von mikromechanischen Inertialsensoren erzielt, indem die in dieser Systemarchitektur enthaltene Rückkoppelung zusätzlich zur Positi...    »
 
Übersetzte Kurzfassung:
A well known architecture for A/D-conversion is the Delta/Sigma-modulation. Being applied to microelectromechanical systems (MEMS) it fits perfectly to systems with capacitive transduction, electrostatic force feedback and integrated switched capacitor circuitry. In this work, an improved resolution of micromechanical inertial sensors is achieved, by using the feedback loop, which is inherent to this system architecture, to additionally control the position of the seismic mass. For the system de...    »
 
Veröffentlichung:
Universitätsbibliothek der TU München 
Mündliche Prüfung:
22.10.2004 
Dateigröße:
6015857 bytes 
Seiten:
244 
Letzte Änderung:
25.06.2007