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Originaltitel:
Entwicklung neuer physikalischer Optimierungs- und Regelungsverfahren für thermische Reaktoren in der Halbleiterprozessierung 
Übersetzter Titel:
Development of new physical optimization and control methods for thermal processes in semiconductor manufacturing 
Jahr:
2001 
Dokumenttyp:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik 
Betreuer:
Ruge, Ingolf (Prof. Dr.); Koch, Frederick (Prof. Ph.D.) 
Gutachter:
Schmitt-Landsiedel, Doris (Prof. Dr.) 
Format:
Text 
Sprache:
de 
Fachgebiet:
ELT Elektrotechnik; MSR Meßtechnik, Steuerungs- und Regelungstechnik, Automation 
Schlagworte (SWD):
Rapid Thermal Processing; Halbleitertechnologie; Siliciumbauelement; Prozessregelung; Prozessoptimierung 
TU-Systematik:
ELT 270d; MSR 730d 
Kurzfassung:
Thema der Dissertation ist der Entwurf und die experimentelle Umsetzung von Optimierungs- und Regelverfahren in thermischen Halbleiterprozessen. Die in dieser Arbeit angewandte Methodik beruht auf einer Aufspaltung des Regelungsproblems in eine detaillierte simulationstechnische Analyse des Prozesses und eine Optimierung, die einen geringen Satz von Charakterisierungsmessungen benötigt. Auf Basis der Simulationen werden Verbesserungen an den Kammerbedingungen entwickelt. Ziel ist die Vereinfachu...    »
 
Übersetzte Kurzfassung:
The dissertation focuses on the development and experimental realization of optimization- and model-based-control methods for thermal semiconductor processe s. The new method proposed in this work uses a split approach of the underlying control problem into a detailed simulation-based analysis of the process and an optimization using only a small set of measurements. To reduce the burden of the control problem improvements on the process chamber are employed using equipment simulation in an earl...    »
 
Veröffentlichung:
Universitätsbibliothek der TU München 
Mündliche Prüfung:
02.04.2001 
Dateigröße:
4318149 bytes 
Seiten:
148 
Letzte Änderung:
19.06.2007