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Original title:
Entwicklung neuer physikalischer Optimierungs- und Regelungsverfahren für thermische Reaktoren in der Halbleiterprozessierung 
Translated title:
Development of new physical optimization and control methods for thermal processes in semiconductor manufacturing 
Year:
2001 
Document type:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik 
Advisor:
Ruge, Ingolf (Prof. Dr.); Koch, Frederick (Prof. Ph.D.) 
Referee:
Schmitt-Landsiedel, Doris (Prof. Dr.) 
Format:
Text 
Language:
de 
Subject group:
ELT Elektrotechnik; MSR Meßtechnik, Steuerungs- und Regelungstechnik, Automation 
Controlled terms:
Rapid Thermal Processing; Halbleitertechnologie; Siliciumbauelement; Prozessregelung; Prozessoptimierung 
TUM classification:
ELT 270d; MSR 730d 
Abstract:
Thema der Dissertation ist der Entwurf und die experimentelle Umsetzung von Optimierungs- und Regelverfahren in thermischen Halbleiterprozessen. Die in dieser Arbeit angewandte Methodik beruht auf einer Aufspaltung des Regelungsproblems in eine detaillierte simulationstechnische Analyse des Prozesses und eine Optimierung, die einen geringen Satz von Charakterisierungsmessungen benötigt. Auf Basis der Simulationen werden Verbesserungen an den Kammerbedingungen entwickelt. Ziel ist die Vereinfachu...    »
 
Translated abstract:
The dissertation focuses on the development and experimental realization of optimization- and model-based-control methods for thermal semiconductor processe s. The new method proposed in this work uses a split approach of the underlying control problem into a detailed simulation-based analysis of the process and an optimization using only a small set of measurements. To reduce the burden of the control problem improvements on the process chamber are employed using equipment simulation in an earl...    »
 
Publication :
Universitätsbibliothek der TU München 
Oral examination:
02.04.2001 
File size:
4318149 bytes 
Pages:
148 
Last change:
19.06.2007