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Original title:
Internal Laser Probing Techniques for Power Devices 
Original subtitle:
Analysis, Modeling and Simulation 
Translated title:
Interne Lasermessverfahren für Leistungsbauelemente 
Translated subtitle:
Analyse, Modellierung und Simulation 
Year:
2000 
Document type:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik 
Advisor:
Wachutka, Gerhard (Prof. Dr.) 
Referee:
Wachutka, Gerhard (Prof. Dr.); Koch, Frederick (Prof. Dr. Ph.D.) 
Format:
Text 
Language:
en 
Subject group:
ELT Elektrotechnik 
Keywords:
free carrier absorption; internal laser deflection; Backside Laser Probing; Fabry-Perot interferometer; Mach-Zehnder interferometer; laser probing; modeling of optical probing techniques; beam propagation; simulation of measurement processes; waveguide model; scattering matrix; propagator matrix; radiation boundary conditions; electrothermal device simulation; thermodynamic model; model validation; model calibration; heat generation in power devices; power devices 
Controlled terms:
Leistungshalbleiter; Temperaturverteilung; Ladungsträger; Dichte ; Brechungsindexprofil; Lasermesstechnik 
TUM classification:
ELT 318d; ELT 238d 
Abstract:
In this thesis, a physically rigorous model for the simulation of internal laser probing techniques for semiconductor power devices is developed which is employed for a thorough analysis of the physical effects during the measurement process. The theoretical studies provide valuable information for developing and optimizing powerful probing techniques which facilitate space-resolved and time-resolved measurements of carrier concentration and temperature profiles. In the second part of this thesi...    »
 
Translated abstract:
Im Rahmen der vorliegenden Arbeit wird ein physikalisch rigoroses Modell zur Simulation interner Lasermessverfahren für Halbleiterleistungsbauelemente entwickelt und für eine umfassende Analyse der physikalischen Vorgänge während des Messprozesses angewandt. Aus den theoretischen Studien ergeben sich wertvolle Ansätze für die Entwicklung und Optimierung leistungsfähiger Messverfahren zur Bestimmung orts- und zeitaufgelöster Ladungsträger- und Temperaturverteilungen. Im zweiten Teil der Arbeit wi...    »
 
Publication :
Universitätsbibliothek der TU München 
Oral examination:
07.11.2000 
File size:
1772879 bytes 
Pages:
188 
Last change:
18.06.2007