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Originaltitel:
Internal Laser Probing Techniques for Power Devices 
Originaluntertitel:
Analysis, Modeling and Simulation 
Übersetzter Titel:
Interne Lasermessverfahren für Leistungsbauelemente 
Übersetzter Untertitel:
Analyse, Modellierung und Simulation 
Jahr:
2000 
Dokumenttyp:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik 
Betreuer:
Wachutka, Gerhard (Prof. Dr.) 
Gutachter:
Wachutka, Gerhard (Prof. Dr.); Koch, Frederick (Prof. Dr. Ph.D.) 
Format:
Text 
Sprache:
en 
Fachgebiet:
ELT Elektrotechnik 
Stichworte:
free carrier absorption; internal laser deflection; Backside Laser Probing; Fabry-Perot interferometer; Mach-Zehnder interferometer; laser probing; modeling of optical probing techniques; beam propagation; simulation of measurement processes; waveguide model; scattering matrix; propagator matrix; radiation boundary conditions; electrothermal device simulation; thermodynamic model; model validation; model calibration; heat generation in power devices; power devices 
Schlagworte (SWD):
Leistungshalbleiter; Temperaturverteilung; Ladungsträger; Dichte ; Brechungsindexprofil; Lasermesstechnik 
TU-Systematik:
ELT 318d; ELT 238d 
Kurzfassung:
In this thesis, a physically rigorous model for the simulation of internal laser probing techniques for semiconductor power devices is developed which is employed for a thorough analysis of the physical effects during the measurement process. The theoretical studies provide valuable information for developing and optimizing powerful probing techniques which facilitate space-resolved and time-resolved measurements of carrier concentration and temperature profiles. In the second part of this thesi...    »
 
Übersetzte Kurzfassung:
Im Rahmen der vorliegenden Arbeit wird ein physikalisch rigoroses Modell zur Simulation interner Lasermessverfahren für Halbleiterleistungsbauelemente entwickelt und für eine umfassende Analyse der physikalischen Vorgänge während des Messprozesses angewandt. Aus den theoretischen Studien ergeben sich wertvolle Ansätze für die Entwicklung und Optimierung leistungsfähiger Messverfahren zur Bestimmung orts- und zeitaufgelöster Ladungsträger- und Temperaturverteilungen. Im zweiten Teil der Arbeit wi...    »
 
Veröffentlichung:
Universitätsbibliothek der TU München 
Mündliche Prüfung:
07.11.2000 
Dateigröße:
1772879 bytes 
Seiten:
188 
Letzte Änderung:
18.06.2007