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Original title:
Metallalkoxide als Precursoren für Metalloxide 
Translated title:
Metalalkoxides as precurors for metaloxides 
Year:
2004 
Document type:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Chemie 
Advisor:
Härter, Peter (Priv.-Doz. Dr.) 
Referee:
Lercher, Johannes A. (Prof. Dr.) 
Format:
Text 
Language:
de 
Subject group:
CHE Chemie; FER Fertigungstechnik 
Keywords:
Metallalkoxide; Precursoren; Titan; Tantal; Aluminium; Barium; MOCVD 
Translated keywords:
Metalalkoxides; Precursors; Titanium; Tantalum; Aluminum; Barium; MOCVD 
Controlled terms:
Alkoholate Chemische Synthese Ausgangsmaterial Metalloxide MOCVD-Verfahren 
TUM classification:
CHE 380d; CHE 330d; FER 882d 
Abstract:
Das Ziel der vorliegenden Dissertation war die Synthese neuer Precursoren für die Abscheidung von Oxiden der Elemente Ti, Ta, Ba und Al. Die Bereitstellung von Verbindungen mit für die Verarbeitung im MOCVD Prozess günstigen physikalischen und chemischen Eigenschaften erforderte die Anpassung der jeweiligen Ligandensphäre an das Metallzentrum. Als besonders günstig erwiesen hat sich eine Kombination der 1,2-Difunktionalität der mehrzähnigen Amino-alkohole mit einem hohen sterischem Anspruch am a...    »
 
Translated abstract:
The aim of the dissertation was to synthesize new precursors for the deposition of metal oxides of Ti, Ta, Al, and Ba. In order to reach this goal the ligand spheres was individually adapted by using multi-dentate amino alcohols having sterically crowded carbon atoms in a-position to the alcohol function. Since the precursors are used in industrial size MOCVD devices the synthetic routes were optimized to a big scale preparation. Experiments for the characterization of the thermal behaviour of t...    »
 
Publication :
Universitätsbibliothek der TU München 
Oral examination:
22.07.2004 
File size:
1868257 bytes 
Pages:
178 
Last change:
13.06.2007