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Originaltitel:
Superharte TiN / Si3N4 Nanokomposite durch reaktive Magnetronzerstäubung kombiniert mit chemischer Gasphasenabscheidung 
Übersetzter Titel:
Superhard TiN / Si3N4 nanocomposites by reactive magnetron sputtering combined with chemical vapour deposition 
Jahr:
2003 
Dokumenttyp:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Chemie 
Betreuer:
Veprek, Stan (Prof. Dr. Dr. h.c.) 
Gutachter:
Veprek, Stan (Prof. Dr. Dr. h.c.); Köhler, Frank H. (Prof. Dr.) 
Format:
Text 
Sprache:
de 
Fachgebiet:
CHE Chemie; FER Fertigungstechnik; WER Werkstoffwissenschaften 
Stichworte:
TiN; Si3N4; Titannitrid; Siliciumnitrid; Nanokomposite; Magnetronzerstäubung; CVD; superharte Materialien; dünne Schichten 
Übersetzte Stichworte:
TiN; Si3N4; titanium nitride; silicon nitride; nanocomposites; magnetron sputtering; CVD; superhard materials; thin films 
Schlagworte (SWD):
Titannitrid; Siliciumnitrid; Schichtverbundwerkstoff; Nanostrukturiertes Material; PECVD-Verfahren; Mehrschichtsystem; Magnetronsputtern 
TU-Systematik:
WER 420d; WER 480d; CHE 380d; FER 882d 
Kurzfassung:
Die Nanokomposite auf der Basis von harten und stabilen Übergangsmetallnitriden sind eine neue Gruppe thermisch hoch stabiler Materialien mit hoher Härte. In dieser Arbeit wurde eine neue, auf einer Kombination von reaktiver Magnetronzerstäubung und plasmainduzierten chemischen Gasphasenabscheidung basierende Methode zur Darstellung von TiN / Si3N4 - Nanokomposite untersucht und die dargestellten Schichten charakterisiert. Zusätzlich wurden Schichten mit einer reaktiven Zerstäubung von einem Zwe...    »
 
Übersetzte Kurzfassung:
Hard and stable transition metal based nanocomposites pose a new group of high hardness materials with a high thermal stability. In this work, a new method, based on a combination of reactive magnetron sputtering and plasma induced chemical vapour deposition, was explored and the films produced were characterized. Furthermore, films were produced by reactive magnetron sputtering with a dual component target and characterized. 
Veröffentlichung:
Universitätsbibliothek der TU München 
Mündliche Prüfung:
16.04.2003 
Dateigröße:
5499904 bytes 
Seiten:
179 
Letzte Änderung:
12.06.2007