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Originaltitel:
Design and Realization of Novel Tools for Soft Lithography 
Übersetzter Titel:
Entwurf und Realisation neuer Methoden und Werkzeuge für Soft Lithogrpahy 
Jahr:
2011 
Dokumenttyp:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik 
Betreuer:
Prof. Dr. Paolo Lugli 
Sprache:
en 
Fachgebiet:
ELT Elektrotechnik 
Kurzfassung:
Lateral structuring in the nanometer range is crucial in progressing the field of nanotechnology. Conventional techniques such as photolithography are in part capable of fulfilling these future demands, but they have high fabrication costs. This thesis focuses on soft lithography, a technique of printing nanometer-sized structures with soft stamps. It is a viable alternative to photolithography, and has the advantage of low production costs. New techniques for advancing this technology and overc...    »
 
Übersetzte Kurzfassung:
In der Nanoelektronik und Nanotechnologie kommt der lateralen Strukturierung von Bauelementen und Mustern in der Größenordnung von Nanometern eine Schlüsselrolle zu. Konventionelle – strahlenbasierte – Lithographietechniken können diese Aufgabe zwar noch erfüllen, aber nur unter wesentlich erhöhtem technischem Aufwand. In dieser Arbeit wird Soft lithography, eine auf Druck und weichen Stempeln basierende, wesentlich kostengünstigere Alternativtechnologie zur Herstellung von Nanometerstrukturen,...    »
 
Schlagworte:
Lithographie ; Drucktechnik 
Letzte Änderung:
03.03.2014