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Originaltitel:
Schichtdickenmessung an gedruckten Polymerschichtsystemen 
Übersetzter Titel:
Film thickness measurement on printed polymer layers 
Jahr:
2011 
Dokumenttyp:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik 
Betreuer:
Koch, Alexander W. (Prof. Dr. habil. Dr. h.c.) 
Gutachter:
Koch, Alexander W. (Prof. Dr. habil. Dr. h.c.); Wagner, Veit (Prof. Dr. habil.) 
Sprache:
de 
Fachgebiet:
MSR Meßtechnik, Steuerungs- und Regelungstechnik, Automation 
Stichworte:
Dünnschichtmessung, spektrale Reflektometrie, Polymere, optisches Messsystem, Schichtdicke 
Übersetzte Stichworte:
Thin film measurement, spectral reflectometry, polymers, optical measurement system, film thickness 
Kurzfassung:
Eine neue Entwicklung in der Halbleiterindustrie stellen gedruckte Polymerschaltungen dar. Zur Qualitätssicherung soll die Schichtdicke der Polymere überwacht werden. Als eines der erfolgsversprechendsten Verfahren gilt die spektrale Dünnschichtreflektometrie. Dieser Arbeit liegt die Frage zugrunde, wie die spektrale Dünnschichtreflektometrie erweitert werden kann, um gedruckte Polymerschaltungen im laufenden Produktionsprozess bzgl. ihrer Schichtdicke zu vermessen. Ein solches System wurde aufg...    »
 
Übersetzte Kurzfassung:
A new development in semiconductor industrys are printed polymer circuits. For quality control the layer thickness of these polymers can be monitored. One of the most promising methods is spectral thin film reflectometry. This work is based on the question of how the spectral thin film reflectometry can be extended to printed polymer circuits to be measured in terms of their thickness during the production process. Such a system was build and evaluated. For example the influence of motion on the...    »
 
Mündliche Prüfung:
26.08.2011 
Dateigröße:
8710150 bytes 
Seiten:
161 
Letzte Änderung:
26.09.2011