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Original title:
Schichtdickenmessung an gedruckten Polymerschichtsystemen 
Translated title:
Film thickness measurement on printed polymer layers 
Year:
2011 
Document type:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik 
Advisor:
Koch, Alexander W. (Prof. Dr. habil. Dr. h.c.) 
Referee:
Koch, Alexander W. (Prof. Dr. habil. Dr. h.c.); Wagner, Veit (Prof. Dr. habil.) 
Language:
de 
Subject group:
MSR Meßtechnik, Steuerungs- und Regelungstechnik, Automation 
Keywords:
Dünnschichtmessung, spektrale Reflektometrie, Polymere, optisches Messsystem, Schichtdicke 
Translated keywords:
Thin film measurement, spectral reflectometry, polymers, optical measurement system, film thickness 
Abstract:
Eine neue Entwicklung in der Halbleiterindustrie stellen gedruckte Polymerschaltungen dar. Zur Qualitätssicherung soll die Schichtdicke der Polymere überwacht werden. Als eines der erfolgsversprechendsten Verfahren gilt die spektrale Dünnschichtreflektometrie. Dieser Arbeit liegt die Frage zugrunde, wie die spektrale Dünnschichtreflektometrie erweitert werden kann, um gedruckte Polymerschaltungen im laufenden Produktionsprozess bzgl. ihrer Schichtdicke zu vermessen. Ein solches System wurde aufg...    »
 
Translated abstract:
A new development in semiconductor industrys are printed polymer circuits. For quality control the layer thickness of these polymers can be monitored. One of the most promising methods is spectral thin film reflectometry. This work is based on the question of how the spectral thin film reflectometry can be extended to printed polymer circuits to be measured in terms of their thickness during the production process. Such a system was build and evaluated. For example the influence of motion on the...    »
 
Oral examination:
26.08.2011 
File size:
8710150 bytes 
Pages:
161 
Last change:
26.09.2011