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- Document type:
- Patent
- Patent number:
- DE 10 2010 016 462 B4
- Inventor:
- Hirth, F.; Buck, T.C.
- Assignee:
- Hirth, F.; Buck, T.C.
- Title:
- Schichtmessverfahren und Messvorrichtung
- Patent office:
- Deutschland
- Publication date patent:
- 16.07.2015
- Year:
- 2015
- WWW:
- https://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?window=1&space=menu&content=treffer&action=pdf&docid=DE102010016462B4
- TUM Institution:
- Lehrstuhl für Messsystem- und Sensortechnik
- Format:
- Text
BibTeX