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- Document type:
- Konferenzbeitrag
- Contribution type:
- Poster
- Author(s):
- Zähringer, S.; Purr, J.; Schwesinger, N.
- Title:
- Der Einfluss verschiedener Randeinspannungen auf die Verformung oberflächen- mikrostrukturierter piezoelektrischer Mikromembranantriebe
- Book / Congress title:
- MikroSystemTechnik Kongress 2013
- Year:
- 2013
- Year / month:
- 2013-10
- Language:
- de
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