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- Titel:
Untersuchung spezifischer Oberflächenelektrodenanordnungen zum Antrieb piezoelektrischer Mikromembranaktoren
- Dokumenttyp:
- Report / Forschungsbericht
- Autor(en):
- Purr, J.
- Beauftragende Einrichtung:
- Fachgebiet Mikrostrukturierte Mechatronische Systeme
- Jahr:
- 2012
- Format:
- Text
BibTeX