Login
- Title:
Der Einfluss verschiedener Randeinspannungen auf die Verformung oberflächen- mikrostrukturierter piezoelektrischer Mikromembranantriebe
- Document type:
- Konferenzbeitrag
- Contribution type:
- Poster
- Author(s):
- Zähringer, S.; Purr, J.; Schwesinger, N.
- Book / Congress title:
- MikroSystemTechnik Kongress 2013
- Year:
- 2013
- Year / month:
- 2013-10
- Language:
- de
BibTeX