Metal-induced layer exchange (MILE) is a well-known method to grow large-grained high quality polycrystalline silicon on foreign substrates. In this thesis, the influence of an additional titanium interfacial layer on the MILE process dynamics as well as the structural, optical and electrical properties of the resulting layers were investigated. The process dynamics of the Ti.MILE as well as the structural, optical and electrical properties of the resulting layers were investigated. Furthermore, the electrical properties were varied by intentional boron and phosphorus doping.      «

Metal-induced layer exchange (MILE) is a well-known method to grow large-grained high quality polycrystalline silicon on foreign substrates. In this thesis, the influence of an additional titanium interfacial layer on the MILE process dynamics as well as the structural, optical and electrical properties of the resulting layers were investigated. The process dynamics of the Ti.MILE as well as the structural, optical and electrical properties of the resulting layers were investigated. Furthermore,...     »

Der Metall-induzierte Schichtaustausch (engl. Metal-Induced Layer Exchange, MILE) ist ein Verfahren zur Herstellung von polykristallinem Silizium auf Fremdsubstraten bei niedrigen Prozess-Temperaturen. In dieser Arbeit wurde der Einfluss einer zusätzlichen Titan-Zwischenschicht auf den Prozess untersucht. Neben der Prozessdynamik des Schichtaustausches wurden die strukturellen, optischen und elektrischen Eigenschaften der so hergestellten Schichten analysiert. Zusätzlich wurden die elektrischen Eigenschaften durch geeignete Dotierung angepasst variiert. Das Hauptanwendungsgebiet solcher Schichten ist die Photovoltaik.     «

Der Metall-induzierte Schichtaustausch (engl. Metal-Induced Layer Exchange, MILE) ist ein Verfahren zur Herstellung von polykristallinem Silizium auf Fremdsubstraten bei niedrigen Prozess-Temperaturen. In dieser Arbeit wurde der Einfluss einer zusätzlichen Titan-Zwischenschicht auf den Prozess untersucht. Neben der Prozessdynamik des Schichtaustausches wurden die strukturellen, optischen und elektrischen Eigenschaften der so hergestellten Schichten analysiert. Zusätzlich wurden die elektrischen...     »