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Document type:
Masterarbeit 
Type detailled:
Experimentell 
Author(s):
Simon Buhr 
Title:
Technologieentwicklung zum sicheren Aufbau eines normal-geschlossenen piezoelektrischen Mikroventils 
Subject:
ELT Elektrotechnik 
Date of acceptation:
30.04.2016 
Year:
2016 
University:
Technische Universität München 
Faculty:
Fakultät für Elektro- und Informationstechnik 
TUM Institution:
Fachgebiet für Mikrostrukturierte Mechatronische Systeme