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Original title:
Dynamic Thermal Characterization of Thin Films via IR Thermography
Translated title:
Dynamische Thermische Charakterisierung von Dünnfilmen mittels IR-Thermographie
Author:
Greppmair, Anton
Year:
2018
Document type:
Dissertation
Faculty/School:
Fakultät für Physik
Advisor:
Brandt, Martin S. (Prof. Dr.)
Referee:
Brandt, Martin S. (Prof. Dr.); Holleitner, Alexander (Prof. Dr.)
Language:
en
Subject group:
PHY Physik
Keywords:
thermal conductivity, heat capacity, emissivity, IR thermography, thin films
Translated keywords:
Wärmeleitfähigkeit, Wärmekapazität, Emissivität, IR-Thermographie, Dünnfilme
TUM classification:
PHY 685d; ELT 300d
Abstract:
A novel method for the thermal characterization of thin films is presented. Free-standing films are illuminated and the resulting temperature distribution of the films is captured in steady state or dynamically via IR microscopy. Analytical and numerical models are used to obtain parameters such as the thermal conductivity, the heat capacity, and the effective emissivity from the micrographs. The method is validated for a wide selection of materials demonstrating excellent agreement with literat...     »
Translated abstract:
Eine neue Methode zur thermischen Charakterisierung von Dünnfilmen wird entwickelt. Freistehende Filme werden beleuchtet und die entstehende Temperaturverteilung im Gleichgewicht oder dynamisch mittels IR-Mikroskopie bestimmt. Aus diesen Aufnahmen werden die Wärmeleitfähigkeit, die Wärmekapazität und die effektive Emissivität mittels analytischer oder numerischer Methoden bestimmt. Die Ergebnisse an einer Reihe unterschiedlichster Materialien zeigen hervorragende Übereinstimmung mit der Literatu...     »
Series:
Selected topics of semiconductor physics and technology
Series volume:
215
ISBN:
978-3-946379-15-7
WWW:
https://mediatum.ub.tum.de/?id=1403397
Date of submission:
27.12.2017
Oral examination:
19.10.2018
Last change:
05.02.2019
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