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Original title:
Integrierte, siliziumbasierte, miniaturisierte Pumpen und Strömungssensoren für mobile mikrofluidische Systeme
Translated title:
Integrated silicon-based miniaturized pumps and flow sensors for mobile microfluidic systems
Author:
Seidl, Martin
Year:
2023
Document type:
Dissertation
Faculty/School:
TUM School of Computation, Information and Technology
Institution:
Technische Elektrophysik (Prof. Schrag komm.)
Advisor:
Schrag, Gabriele (Prof. Dr. habil.)
Referee:
Schrag, Gabriele (Prof. Dr. habil.); Hagelauer, Amelie (Prof. Dr.)
Language:
de
Subject group:
ELT Elektrotechnik
Keywords:
Mikrotechnik, Pumpe, Anemometer, Strömungssensor
Translated keywords:
microtechnology, pump, anemometer, flow sensor
TUM classification:
ELT 200
Abstract:
In dieser Arbeit werden integrierte, siliziumbasierte Mikropumpen und darauf abgestimmte, miniaturisierte Strömungssensoren von Grund auf neu konzeptioniert und entwickelt. Die Entwicklungsphase wird durch virtuelle Produktentwicklung und durch die Adaptierung vorhandener Fertigungsprozesse beschleunigt. Nach der Entwicklung geeigneter Prüfstände können durch experimentelle Charakterisierung die Vorteile der Mikropumpen und Strömungssensoren gegenüber dem Stand der Technik nachgewiesen werden.
Translated abstract:
In this work, integrated silicon-based micropumps and matched miniaturized flow sensors are conceptualized and developed from scratch. The development phase is accelerated by virtual product development and by adapting existing manufacturing processes. After the development of suitable test rigs, the advantages of the micropumps and flow sensors compared to the state of the art can be demonstrated by experimental characterization.
WWW:
https://mediatum.ub.tum.de/?id=1713917
Date of submission:
28.06.2023
Oral examination:
03.11.2023
File size:
52785110 bytes
Pages:
143
Urn (citeable URL):
https://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn:nbn:de:bvb:91-diss-20231103-1713917-1-1
Last change:
17.11.2023
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