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Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag 
Autor(en):
Simon Essing, Regine Behlert, Wolfgang Hölzl, Gabriele Schrag 
Titel:
Evaluation of the Electrode Design of an Integrated Bionic Microflapper for Improved Fluid Flow 
Kongress- / Buchtitel:
Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS and MOEMS (DTIP) 
Jahr:
2020