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- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Art des Konferenzbeitrags:
- Vortrag / Präsentation
- Autor(en):
- Manz, J.; Schrag, G.; Dehe, A.; Krumbein, U.; Wachutka, G.
- Titel:
- Investigations on a Novel Silicon MEMS Microphone Concept for a High Signal-to-Noise Ratio
- Seitenangaben Beitrag:
- pp. 54-55
- Kongress- / Buchtitel:
- MICROSYSTEMS TECHNOLOGY IN GERMANY 2018
- Jahr:
- 2018
- Sprache:
- en
- TUM Einrichtung:
- Lehrstuhl für Technische Elektrophysik
- Eingabe:
- 04.12.2018
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