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- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Art des Konferenzbeitrags:
- Vortrag / Präsentation
- Autor(en):
- Manz, J.; Bosetti, G.; Dehe, A.; Schrag, G
- Titel:
- A novel silicon "star-comb" microphone concept for enhanced signal-to-ratio: modeling, design and first prototype
- Seitenangaben Beitrag:
- pp. 69-70
- Kongress- / Buchtitel:
- Proceedings of 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems 2017
- Kongress / Zusatzinformationen:
- Kaohsiung, Taiwan (Transducers)
- Datum der Konferenz:
- 18-22 June2017
- Jahr:
- 2017
- Jahr / Monat:
- 2017-06
- Monat:
- Jun
- Seiten:
- pp. 69-70
- Sprache:
- en
- TUM Einrichtung:
- Lehrstuhl für Technische Elektrophysik
- Eingabe:
- 23.10.2018
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