Benutzer: Gast  Login
Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag 
Art des Konferenzbeitrags:
Textbeitrag / Aufsatz 
Autor(en):
Schrag, G.: Künzig, T.; Glacer, C.; Dehe, A.; Wachutka, G. 
Titel:
Acoustic High-Frequency Effects Inside the Package of Capacitive Silicon Microphones and Their Impact on the Device Performance 
Seitenangaben Beitrag:
95170M1-95170M6 
Kongress- / Buchtitel:
Proceedings of SPIE 9517, Smart Sensors, Actuators, and MEMS VII and Cyber Physical Systems 
Datum der Konferenz:
May, 4-6 
Jahr:
2015