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Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag 
Art des Konferenzbeitrags:
Vortrag / Präsentation 
Autor(en):
Schrag, G.; Künzig, T.; Wachutka, G. 
Titel:
Modeling Reliability Issues in RF MEMS Switches 
Seitenangaben Beitrag:
pp 432-435 
Herausgeber:
IEEE 
Kongress- / Buchtitel:
Proceedings of the International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices 
Kongress / Zusatzinformationen:
SISPAD 2013, September 3-5, Glasgow, Scotland, UK 
Jahr:
2013 
Sprache:
en