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Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag 
Autor(en):
Schrag, G.; Reutter, T.; Wachutka, G. 
Titel:
Finite Element Simulations Combined with Statistical Analysis of Variance: Exploring the Potential of Piezoelectric MEMS Microphones 
Seitenangaben Beitrag:
pp. 1452-1455 
Kongress- / Buchtitel:
Proceedings of the 17th International Conference on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems 
Kongress / Zusatzinformationen:
TRANSDUCERS 16-20 June, 2013, Barcelona, Spain 
Verlag / Institution:
IEEE 
Jahr:
2013 
Sprache:
en