Squeeze-Film Damping in Perforated Microstructures: Modeling, Simulation and Pressure-Dependent Experimental Validation

Niessner, M.; Schrag, G.; Iannacci, J.; Wachutka, G.

Dokumenttyp:: Konferenzbeitrag
Art des Konferenzbeitrags:: Textbeitrag / Aufsatz
Autor(en):: Niessner, M.; Schrag, G.; Iannacci, J.; Wachutka, G.
Titel:: Squeeze-Film Damping in Perforated Microstructures: Modeling, Simulation and Pressure-Dependent Experimental Validation
Seitenangaben Beitrag:: pp. 598-601
Kongress- / Buchtitel:: Proceedings of the Nanotech - NSTI 2012- Vol. 2
Kongress / Zusatzinformationen:: June 18-21, Santa Clara, CA, USA
Verlagsort:: New York
Jahr:: 2012
Reviewed:: ja
Sprache:: en
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