Eine neue Entwicklung in der Halbleiterindustrie stellen gedruckte Polymerschaltungen dar. Zur Qualitätssicherung soll die Schichtdicke der Polymere überwacht werden. Als eines der erfolgsversprechendsten Verfahren gilt die spektrale Dünnschichtreflektometrie. Dieser Arbeit liegt die Frage zugrunde, wie die spektrale Dünnschichtreflektometrie erweitert werden kann, um gedruckte Polymerschaltungen im laufenden Produktionsprozess bzgl. ihrer Schichtdicke zu vermessen. Ein solches System wurde aufgebaut und verifiziert. Hierbei wurde u.a. der Einfluss der Bewegung auf das Reflektogramm unter Laborbedingungen untersucht. Abschließende Messungen im Druckprozess gedruckter Polymerschaltungen zeigen das Potenzial dieses Messsystems: Die Messung von Schichtdicken gedruckter Polymerbahnen ist im laufenden Produktionsprozess mit Hilfe der spektralen Dünnschichtreflektometrie möglich.     «

Eine neue Entwicklung in der Halbleiterindustrie stellen gedruckte Polymerschaltungen dar. Zur Qualitätssicherung soll die Schichtdicke der Polymere überwacht werden. Als eines der erfolgsversprechendsten Verfahren gilt die spektrale Dünnschichtreflektometrie. Dieser Arbeit liegt die Frage zugrunde, wie die spektrale Dünnschichtreflektometrie erweitert werden kann, um gedruckte Polymerschaltungen im laufenden Produktionsprozess bzgl. ihrer Schichtdicke zu vermessen. Ein solches System wurde aufg...     »

A new development in semiconductor industrys are printed polymer circuits. For quality control the layer thickness of these polymers can be monitored. One of the most promising methods is spectral thin film reflectometry. This work is based on the question of how the spectral thin film reflectometry can be extended to printed polymer circuits to be measured in terms of their thickness during the production process. Such a system was build and evaluated. For example the influence of motion on the reflectogram was studied under laboratory conditions. Final measurements in the polymer circuits printing process show the potential of this measurement system: Measurement of film thickness of printed polymer layers is possible during the production process using spectral thin film reflectometry.     «

A new development in semiconductor industrys are printed polymer circuits. For quality control the layer thickness of these polymers can be monitored. One of the most promising methods is spectral thin film reflectometry. This work is based on the question of how the spectral thin film reflectometry can be extended to printed polymer circuits to be measured in terms of their thickness during the production process. Such a system was build and evaluated. For example the influence of motion on the...     »