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Original title:
Temperature Compensation of Solidly Mounted Bulk Acoustic Wave Resonators
Translated title:
Temperaturkompensation von Solidly-mounted Bulk Acoustic Wave Resonatoren
Year:
2010
Document type:
Dissertation
Institution:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Advisor:
Prof. Dr. rer. nat. Doris Schmitt-Landsiedel
Language:
en
Subject group:
ELT Elektrotechnik
TUM classification:
ELT 770f
Abstract:
This thesis introduces a novel way of temperature compensation of Bulk Acoustic Wave (BAW) resonators. By adding very thin (30-70nm) SiO2 layers at high stress regions within the resonator, temperature coefficients ranging from -10 ppm/˚C to +12ppm/˚C have been successfully demonstrated. With this method, it was possible to reach full temperature compensation of less than 1ppm/˚C with the use of only 32nm placed within 1180 nm of AlN. Thanks to this significant reduction in SiO2 thickness, more...    »
Translated abstract:
Die Arbeit stellt eine neue Methode zur Temperatur-Kompensation von Bulk Acoustic Wave (BAW) Resonatoren vor. Durch Einbringung von sehr dünnen (30-70-nm) SiO2-Schichten in Bereiche hoher Druckbelastung innerhalb des Resonators wurden Temperaturkoeffizienten von -10 ppm /˚C bis +12 ppm /˚C erreicht. Mit einer Schicht von nur 32 nm in 1180 nm AlN konnte eine vollständige Temperaturkompensation bei weniger als 1 ppm / ˚ C erzielt werden. Dank dieser deutlichen Reduzierung der SiO2-Dicke gegenüber...    »
Controlled terms:
Akustowellenbauelement ; Akustischer Resonator ; Piezoelektrischer Stoff ; Siliciumdioxid ; Wafer ; Temperaturkompensation
Last change:
03.03.2014
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