In dieser Arbeit werden mikrostrukturierte thermoelektrische Generatoren (Mikrothermogeneratoren) beschrieben, welche von außen zugeführte Wärme in einige Mikrowatt elektrischer Leistung umwandeln. Das den Wirkungsgrad bestimmende thermoelektrische Gleichungssystem wird gelöst und diskutiert. Mit speziellen Mikrostrukturen werden unter anderem der spezifische elektrische Widerstand, der Seebeck-Koeffizient und die Wärmeleitfähigkeit von Polysilizium und Poly-Silizium-Germanium bestimmt. Der Entwurf der Mikrothermogeneratoren erfolgt aufgrund von Optimierungen mittels gekoppelter thermoelektrischer Simulationen. Die oberflächenmikromechanische Herstellung der Generatoren wird detailliert beschrieben und die auf diese Weise realisierten Mikrobauteile werden charakterisiert und bewertet.     «

In dieser Arbeit werden mikrostrukturierte thermoelektrische Generatoren (Mikrothermogeneratoren) beschrieben, welche von außen zugeführte Wärme in einige Mikrowatt elektrischer Leistung umwandeln. Das den Wirkungsgrad bestimmende thermoelektrische Gleichungssystem wird gelöst und diskutiert. Mit speziellen Mikrostrukturen werden unter anderem der spezifische elektrische Widerstand, der Seebeck-Koeffizient und die Wärmeleitfähigkeit von Polysilizium und Poly-Silizium-Germanium bestimmt. Der Entw...     »

This work describes micro-structured thermoelectric generators which convert heat into electric power. The thermoelectric network which determines the conversion efficiency is solved and discussed. Using specially-designed microstructures the electrical resistivity, the Seebeck-coefficient, and the thermal conductivity of poly-silicon and poly-silicon-germanium are measured. The design of the thermoelectric generators is based on optimizations by means of coupled thermoelectric simulations. The surface-micromechanical processing of the generators is described in detail and the devices are characterized and compared to each other.     «

This work describes micro-structured thermoelectric generators which convert heat into electric power. The thermoelectric network which determines the conversion efficiency is solved and discussed. Using specially-designed microstructures the electrical resistivity, the Seebeck-coefficient, and the thermal conductivity of poly-silicon and poly-silicon-germanium are measured. The design of the thermoelectric generators is based on optimizations by means of coupled thermoelectric simulations. The...     »