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- Dokumenttyp:
- Zeitschriftenaufsatz
- Autor(en):
- Bin Afif, Abdulla; Dadlani, Anup L.; Flaten, Andreas; Lid, Markus Joakim; Ofstad, Johannes; Erbe, Andreas; Köllensperger, Peter; Torgersen, Jan
- Titel:
- A toolbox for easy entry low wavenumber in situ atomic layer deposition transmission FTIR spectroscopy studies
- Zeitschriftentitel:
- Review of Scientific Instruments
- Jahr:
- 2022
- Band / Volume:
- 93
- Heft / Issue:
- 8
- Seitenangaben Beitrag:
- 085107
- Nachgewiesen in:
- Scopus; Web of Science
- Volltext / DOI:
- doi:10.1063/5.0102518
- Verlag / Institution:
- AIP Publishing
- E-ISSN:
- 0034-67481089-7623
- Publikationsdatum:
- 01.08.2022
- TUM Einrichtung:
- Lehrstuhl für Werkstoffwissenschaften
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