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- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Autor(en):
- Bodendorfer, T.; Mayinger, P.; Koch, A.W.
- Titel:
- Influence of surface structure on shape and roughness measurement using two-wavelength speckle interferometry
- Kongress- / Buchtitel:
- SPIE Optical Metrology 2013, Modeling Aspects in Optical Metrology IV
- Kongress / Zusatzinformationen:
- Munich, Germany, 13.05.2013, conference vol. 8789, paper no. 8789-8, doi:10.1117/12.2020270, http://dx.doi.org/10.1117/12.2020270
- Band / Teilband / Volume:
- vol. 8789
- Datum der Konferenz:
- 13.05.2013
- Jahr:
- 2013
- Reviewed:
- ja
- Sprache:
- en
- Volltext / DOI:
- doi:http://dx.doi.org/10.1117/12.2020270
- Semester:
- SS 13
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