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Dokumenttyp:
Zeitschriftenaufsatz 
Autor(en):
Böttcher, Artur; Schwaiger, Ruth; Pazdera, Tobias M; Exner, Daniela; Hauns, Jakob; Strelnikov, Dmitry; Lebedkin, Sergei; Gröger, Roland; Esch, Friedrich; Lechner, Barbara A J; Kappes, Manfred M 
Titel:
Nanoscale patterning at the Si/SiO2/graphene interface by focused He+ beam 
Zeitschriftentitel:
Nanotechnology 
Jahr:
2020 
Band / Volume:
31 
Heft / Issue:
50 
Seitenangaben Beitrag:
505302 
Volltext / DOI:
Verlag / Institution:
IOP Publishing 
E-ISSN:
0957-44841361-6528 
Publikationsdatum:
06.10.2020