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Original title:
Nanotransfer Printing and Kinetic Monte Carlo Simulations of Metal-Oxide-Structures
Translated title:
Nanotransfer Printing und kinetische Monte Carlo Simulationen von Metal-Oxid-Strukturen
Author:
Weiler, Benedikt
Year:
2016
Document type:
Dissertation
Faculty/School:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Advisor:
Lugli, Paolo (Prof., Ph.D.)
Referee:
Lugli, Paolo (Prof., Ph.D.); Holleitner, Alexander (Prof. Dr.)
Language:
en
Subject group:
ELT Elektrotechnik; TEC Technik, Ingenieurwissenschaften (allgemein)
Keywords:
nanotransfer printing, kinetic Monte Carlo, metal-oxide, plasma oxidation, titanium dioxide, aluminum dioxide, MOM, MOS
Translated keywords:
Nanotransfer Printing, Lithographie, kinetic Monte Carlo, Metall-Oxid, Plasmaoxidation, Titandioxid, Aluminiumoxid, MOM, MOS
TUM classification:
TEC 030d
Abstract:
In this work nanotransfer printing (nTP) was combined with plasma oxidation of Ti to an efficient fabrication process for ordered nano- and microscale metal- and metal-oxide-structures on doped silicon. Furthermore, kinetic Monte Carlo (kMC) simulations of ultrathin metal-oxide-layers were performed to analyse the electronic properties of TiO2 and AlOx for applications in MOS and MOM nanodevices. Finally, dominant charge transport processes and defect energies in dependence of the fabrication of...     »
Translated abstract:
Nanotransfer Printing (nTP) wurde mit einem zusätzlichen Plasmaoxidationsprozess auf Titan zu einem effizienten Herstellungsverfahren für hochgeordnete nano- and microscale Metall- und Metall-Oxid-Strukturen auf dotiertem Silizium weiterentwickelt. Ferner wurden mittels kinetischer Monte Carlo (kMC) Simulationen die elektronischen Eigenschaften von Titandioxid und Aluminiumoxid hinsichtlich ihrer Anwendung in nanoskaligen MOS und MOM Bauelementen untersucht. Dominante Ladungstransportprozesse un...     »
WWW:
https://mediatum.ub.tum.de/?id=1578856
Date of submission:
23.11.2015
Oral examination:
12.12.2016
File size:
41454360 bytes
Pages:
213
Urn (citeable URL):
https://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn:nbn:de:bvb:91-diss-20161212-1578856-0-1
Last change:
11.11.2020
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