In the presented thesis, a miniaturized particle sensor is being described, which measures the concentration of particles in air. Applying Mie-theory, the size of the particles is determined from the light scattered by a laser beam in two solid angle intervals. Accordingly adjusted Fresnel ring lens segments increased the scattering signals, hence improving the sensitivity. It was possible to measure particles with diameters down to about 100 nm. Additional processing techniques are demonstrated with which a good accuracy of the particle sizes could be achieved.     «

In the presented thesis, a miniaturized particle sensor is being described, which measures the concentration of particles in air. Applying Mie-theory, the size of the particles is determined from the light scattered by a laser beam in two solid angle intervals. Accordingly adjusted Fresnel ring lens segments increased the scattering signals, hence improving the sensitivity. It was possible to measure particles with diameters down to about 100 nm. Additional processing techniques are demonstrated...     »

In der vorliegenden Arbeit wird ein miniaturisierter Partikelsensor beschrieben, welcher die Partikelkonzentration in Luft misst. Mit Hilfe der Mie-Theorie wird an einzelnen Partikeln gestreutes Laserlicht in definierten Winkelintervallen analysiert. Darauf angepasste Fresnellinsensegmente verstärken die Streusignale und erhöhen die Sensitivität. Damit konnte die Empfindlichkeit des Sensors für Partikel bis herunter zu etwa 100 nm demonstriert werden. Es werden Auswertetechniken gezeigt mit welchen das System eine sehr gute Partikelgrößenauflösung in Messungen erzielen konnte.     «

In der vorliegenden Arbeit wird ein miniaturisierter Partikelsensor beschrieben, welcher die Partikelkonzentration in Luft misst. Mit Hilfe der Mie-Theorie wird an einzelnen Partikeln gestreutes Laserlicht in definierten Winkelintervallen analysiert. Darauf angepasste Fresnellinsensegmente verstärken die Streusignale und erhöhen die Sensitivität. Damit konnte die Empfindlichkeit des Sensors für Partikel bis herunter zu etwa 100 nm demonstriert werden. Es werden Auswertetechniken gezeigt mit welc...     »