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- Dokumenttyp:
- Magazinartikel
- Autor(en):
- Kuenzig, T.; Dehe, A.; Krumbein, U.; Schrag, G.
- Titel:
- Virtual design and optimization studies for industrial silicon microphones applying tailored system-level modeling
- Zeitschriftentitel:
- Journal of Micromechanics and Microengineering
- Jahr:
- 2018
- Band / Volume:
- 28
- Jahr / Monat:
- 2018-03
- Monat:
- Mar
- Sprache:
- en
- TUM Einrichtung:
- Lehrstuhl für Technische Elektrophysik
- Eingabe:
- 03.12.2018
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