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- Autor(en):
- Rutishauser, S.; Bednarzik, M.; Zanette, I.; Weitkamp, T.; Börner, M.; Mohr, J.; David, C.
- Titel:
- Fabrication of two-dimensional hard X-ray diffraction gratings
- Zeitschriftentitel:
- Microelectronic Engineering
- Jahr:
- 2013
- Band / Volume:
- 101
- Seitenangaben Beitrag:
- 12-16
- Volltext / DOI:
- doi:10.1016/j.mee.2012.08.025
- Verlag / Institution:
- Elsevier BV
- Publikationsdatum:
- 01.01.2013
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