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- Dokumenttyp:
- Patent
- Patent, Gebrauchsmuster Nr.:
- DE 10 2010 016 462 B4
- Erfinder:
- Hirth, F.; Buck, T.C.
- Patentanmelder:
- Hirth, F.; Buck, T.C.
- Titel:
- Schichtmessverfahren und Messvorrichtung
- Anmeldeland:
- Deutschland
- Veröffentlichungsdatum / Patent:
- 16.07.2015
- Jahr:
- 2015
- WWW:
- https://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?window=1&space=menu&content=treffer&action=pdf&docid=DE102010016462B4
- TUM Einrichtung:
- Lehrstuhl für Messsystem- und Sensortechnik
- Format:
- Text
BibTeX