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Original title:
Nanotransfer Printing and Kinetic Monte Carlo Simulations of Metal-Oxide-Structures 
Translated title:
Nanotransfer Printing und kinetische Monte Carlo Simulationen von Metal-Oxid-Strukturen 
Year:
2016 
Document type:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik 
Advisor:
Lugli, Paolo (Prof., Ph.D.) 
Referee:
Lugli, Paolo (Prof., Ph.D.); Holleitner, Alexander (Prof. Dr.) 
Language:
en 
Subject group:
ELT Elektrotechnik; TEC Technik, Ingenieurwissenschaften (allgemein) 
Keywords:
nanotransfer printing, kinetic Monte Carlo, metal-oxide, plasma oxidation, titanium dioxide, aluminum dioxide, MOM, MOS 
Translated keywords:
Nanotransfer Printing, Lithographie, kinetic Monte Carlo, Metall-Oxid, Plasmaoxidation, Titandioxid, Aluminiumoxid, MOM, MOS 
TUM classification:
TEC 030d 
Abstract:
In this work nanotransfer printing (nTP) was combined with plasma oxidation of Ti to an efficient fabrication process for ordered nano- and microscale metal- and metal-oxide-structures on doped silicon. Furthermore, kinetic Monte Carlo (kMC) simulations of ultrathin metal-oxide-layers were performed to analyse the electronic properties of TiO2 and AlOx for applications in MOS and MOM nanodevices. Finally, dominant charge transport processes and defect energies in dependence of the fabrication of...    »
 
Translated abstract:
Nanotransfer Printing (nTP) wurde mit einem zusätzlichen Plasmaoxidationsprozess auf Titan zu einem effizienten Herstellungsverfahren für hochgeordnete nano- and microscale Metall- und Metall-Oxid-Strukturen auf dotiertem Silizium weiterentwickelt. Ferner wurden mittels kinetischer Monte Carlo (kMC) Simulationen die elektronischen Eigenschaften von Titandioxid und Aluminiumoxid hinsichtlich ihrer Anwendung in nanoskaligen MOS und MOM Bauelementen untersucht. Dominante Ladungstransportprozesse un...    »
 
Oral examination:
12.12.2016 
Last change:
22.03.2017