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Document type:
Konferenzbeitrag 
Author(s):
Rumschoettel, D.; Kagerer, M.; Irlinger, F.; Lüth, T.C. 
Title:
Kompaktmodell für die Charakterisierung eines piezoelektrischen Membrandruckkopfes 
Book / Congress title:
MikroSystemTechnik Kongress 
Date of congress:
26.-28. Oktober 
Year:
2015