- Document type:
- Report / Forschungsbericht
- Author(s):
- Purr, J.
- Title:
- Untersuchung spezifischer Oberflächenelektrodenanordnungen zum Antrieb piezoelektrischer Mikromembranaktoren
- Contracting organization:
- Fachgebiet Mikrostrukturierte Mechatronische Systeme
- Year:
- 2012
- Format:
- Text
- BibTeX